無論是旋片真空泵維修，干式真空泵維修以及水環式真空泵維修，在我們停止真空泵運行后，我們都必須弄清楚真空泵的狀況，應該知道哪些損壞的零部件需要更換，并事先準備好。

按一般真空泵的維修的順序來說，都是按照拆卸、檢查、組裝三大步驟。由于真空泵的結構不同，具體程序內容就不一樣。

下面好凱德真空科技就例舉單級旋片式真空泵為例：

一、總體拆卸

分離泵殼

拆卸電機與泵頭分離，分解與系統有鏈接的管路，分解后管頭用布包上防止雜物落入。

拆除泵蓋

在拆除泵蓋時要保證平穩，注意不要不要與其他部件卡住

取出轉子

把兩端的軸承拆開，取走軸承，把轉子放在干凈的工作臺面上。

拆除油箱，安裝一定順序把油箱拆卸下來，同時在拆機時一定要把單級旋片泵的潤滑油放掉。

二、檢查清潔

泵體部分

軸承檢查，看否有磨損、燒傷；烏金是否脫胎，如不能繼續使用需要更換新的。新軸承也要檢查脫胎情況，須放在沒有理浸泡后檢查。脫胎面積不要超過20%。

軸承體內要清潔干凈，并檢查油窗是否透明

真空泵的循環有關是否堵塞、有無泄漏，應保持暢通完好。

真空泵端蓋和泵體結合面清潔干凈。結合面的密封墊片及0型圈，如已損壞，則按原厚度更換。

缸體轉子部分

檢查葉片磨損、汽蝕情況，并查看是否有裂紋。如能繼續使用可不比從軸上卸下來，過過非要卸下來一定要用專門的工作卸下來，不能亂敲亂碰。

卸下葉片后要清潔干凈，測試軸彎曲度。

檢查真空泵轉子與葉片之間的間隙，若太大則要對轉子間隙進行調試。同時要檢查缸體的光潔度，發現缸體粗糙不平或者是有坑洼缺口，則要進行鏜缸進行修復。

三、組裝調整

根據一定的順序將真空泵體組裝好，期間要注意調試轉子與缸體，轉子與端面的間隙，過大或者過小都會影響真空泵的性能。

備注：真空泵維修最后階段即組裝調整階段，對泵浦精度要求比較高，所以在拆泵前必須對泵浦的一些數據進行收集，以便在組裝的時候有個參考，這也方便與泵浦的調試。