近年來,真空泵在各個工業部門中獲得了廣泛的應用。首先應指出的是,在生產電子、光電管、X射線管、白熾燈、汞弧管和氣體放電管等方面特別需要進口真空泵。真空融化和焊接爐、大型金屬殼汞弧整流器、高伏示波器、電子顯微鏡、陰極濺射裝置、真空涂覆裝置、PCB、木工制造、吸塑包裝、光電制造、真空鍍膜及各個科學和生產部門的許多其他設備等也須用快速真空泵進行排氣。
進口真空泵主要分為以下兩類:
(1)容積旋轉式油泵,其作用原理是以泵的轉動部分機型地排除充滿工作容器內的其他題為基礎。
(2)蒸汽擴散真空泵,其作用原理是以工作液蒸汽流的排氣作用為基礎。
任何真空泵好凱德真空科技都可用以下三個主要參數表示:

1.極限壓強或極限真空--系指某種泵可以達到的最低壓強。
一般說來,極限壓強是神域氣體和工作液蒸汽分壓強的綜合。但是,由于工作也的性質與泵本身質量沒有直接關系,故作為泵參數的極限真空一般僅按剩余氣體的分壓強來估計,而且工作液蒸汽的分壓槍用冷凝不及其可降低到最小值。
大多數旋轉式油泵的極限壓強通常能達到10-3毫米水銀柱,并取決于下列因素。
泵內有無雜質、粘度及溶解于油內的比例
被抽氣體在油內的溶解度
有害空間的大小
外殼和軸承的密封度。
高真空蒸汽擴散泵的極限壓強主要不是取決于泵的結構,而是取決于工作液的性質,首先取決于:在泵的冷凝補集器所造成的溫度下工作也的蒸汽壓強。蒸汽擴散泵一個用的經驗證明,極限壓強值取決于工作液的純度及溶解于油中的雜質和氣體的數量。
如果允許將油與大氣接觸,那么,蒸汽油泵的極限壓強值可以大大地增加,因為具有高蒸汽壓強的揮發性產物。
由于現代蒸汽擴散泵達到的極限壓強極低,故泵壁及整個真空系統的密封度和加工的精度對其工作來說具有重大意義。
2.最大排氣壓強,指泵的排氣管極限最大壓強值,超過此值時會造成進氣管逆流。
旋轉式油泵的最大排氣壓強略高于大氣壓
蒸汽擴散泵排氣壓強比旋轉式泵低得多,一次為了保證蒸汽擴散泵正常工作,必須使排氣管與旋轉式泵的進氣管串聯,旋轉式泵能產生所需的預真空度。只有當被抽氣鎮裝置內的壓強地域泵的最大排氣壓強時,才允許開動蒸汽擴散泵進行抽泣。
3.作用速率,系指單位時間內以壓強通過泵進氣管界面的氣體體積。泵的作用速率通常用P來表示,表示管截面的氣體體積。旋轉式泵的作用速率取決于轉子每轉一次泵的排除的氣體體積和轉子旋轉的速度。這種進口真空泵的作用速率與壓強十分有關。
大多數高真空蒸汽擴散泵的作用速率主要取決于進氣管截面面積,一次,實際上在很寬的范圍內并不取決于被抽氣體的壓力。
每分鐘的轉數、電動機功率、油和油的耗量等是旋轉式泵的輔助參數。
除加熱器功率和水耗量外,蒸汽擴散泵的輔助參數還有所謂比特性,它表示為獲得一秒每升的抽氣速率,泵內所消耗的功率值,以及與進氣孔單位面積有關的抽氣速率
這兩種比特性可以說明蒸汽擴散泵的各種結構的完善程度。熱效率也是高真空的主要參數。
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