在真空技術中，材料的蒸氣壓和蒸發（升華）速率是需要重視的參數。如真空油脂、真空規灼熱燈絲的飽和蒸氣壓，均能成為影響進口真空泵極限真空度的起源。鍋和鋅具有很高的蒸發速率，因此不宜用作超高真空閥件的鍍層材料，如在合金成分中，鎘和鋅的含量很高，這種合金也應避免采用。

在真空閥門設計中，材料的冷焊是一個不可回避的問題，它可能出現在密封面上、法蘭連接處以及縲紋副上。這種冷焊的機理是，在真空情況下，特別是在超高真空情況下，金屬表面會失去吸氣層，吸氣層的消失會導致金屬表面摩擦因數增加，這樣就有可能造成金屬接觸表面局部或全部焊住。

真空閥門具有下列特點：

壓力低于大氣壓，而閥瓣上的壓降不能超過1公斤力/厘米2。介質的工作溫度取決于使用裝置的工藝過程。溫度一般不超過-70 ~ +150℃的范圍。

對這類閥門最基本的要求是保證連接的高度密封性和結構與墊片材料的致密性。

按介質壓力真空閥門可分成四組：

1）低真空閥門：介質壓力p=760~1毫米汞柱.

2）中真空閥門：p=1×10-3 毫米汞柱。

3）高真空閥門：p=1×10-4 ~1×10-7 毫米汞柱.

4）超高真空閥門：p≤1×10-8 毫米汞柱。

選用真空泵閥門應注意的事項

所應用的真空區域；

能承受的烘烤溫度；

能承受的環境溫度；

關閉時閥門兩邊所承受的壓力差；；

開啟/封閉次數計的壽命；

為超高真空金屬閥，還需知道其允許的升溫率和降溫率。

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